グローブボックス用赤外線ヒーター素子

もう、グローブボックスをオーブンのように使うのはやめましょう。 半導体製造においてグローブボックスを使用したことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。プロセスを行うためには内部を高温にする必要がありますが、従来のヒーターでは空気全体が加熱されてしまいます。その結果、内壁が非常に高温になってし...