半導体機械用スペアパーツ ヒーター

リソグラフィ工程では、ソフトベークの温度が数度ずれるだけで、ウェハ上のクリティカルディメンションにばらつきが発生する。ヒーターは単に熱を加えるだけでなく、熱予算を管理している。予備部品が故障すると、不良がマップに現れる前から歩留まりが低下し始める。 技術的に重要なポイント 半導体装置用スペアヒータ...