클래스 100 등급의 청정실을 항상 깨끗하게 유지하려면, 단순히 고성능 공기 필터만으로는 충분하지 않습니다. 세부적인 부분들이 중요한 역할을 합니다. 저가형 부품에서 나오는 아주 작은 양의 가스라도 반도체 웨이퍼를 망가뜨릴 수 있습니다.
그래서 우리는 고순도 석영 적외선 램프를 이런 식으로 만듭니다. 우리는 입자가 발생하기 전에 그것을 막는 데 집중합니다.
석영의 문제점 일반 석영에는 불순물이 들어 있습니다. 온도가 매우 높아지면 그 불순물들이 떨어져 나오거나 가스가 방출될 수 있습니다. 이는 좋지 않습니다.
우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 합성된 고순도 석영을 사용합니다. 텅스텐 필라멘트가 짧은 파장의 적외선을 방출하는 역할을 하고, 초고순도 석영은 그 열이 기판에 제대로 전달되도록 해줍니다. 금속 성분의 오염도 없고, 예상치 못한 문제도 발생하지 않습니다.
필요한 곳에 적절한 열을 공급 이 램프들은 작은 크기에도 불구하고 매우 높은 열량을 가지고 있습니다. 따라서 전체 챔버가 따뜻해지지 않고도 원하는 곳에 정확하게 열을 공급할 수 있습니다.
자신의 전력 공급 시스템에 맞는 와트수와 전압을 선택할 수 있지만, 주의해야 할 점은 고와트수의 램프는 매우 강력한 열을 내므로 쿨링 시스템이 충분히 강력해야 한다는 것입니다. 그렇지 않으면 소켓이 녹거나 하우징이 변형될 수 있습니다.
시스템에 장착하기 우리는 모든 유기 접착제와 저품질 코팅제를 제거했습니다. 왜냐하면 그런 것들은 청소 시 문제가 생길 수 있기 때문입니다. 또한, 밀봉 부분도 수천 번의 열循環에도 균열이 생기지 않도록 특별히 설계되었습니다.
PID 제어를 사용한다면, 이 램프들을 그대로 사용하면 정확한 온도 조절이 가능합니다.
교체도 매우 간단합니다. 우리는 복잡한 고정 장치를 싫어합니다. 그래서 정밀한 방식으로만 장착됩니다.
마지막으로, 진공 상태에서 사용한다면, 밀봉 부분이 해당 압력 수준에 적합한지 반드시 확인해야 합니다. 이것이 누수로 인한 문제를 피하는 가장 쉬운 방법입니다.