ASML 리소그래피 램프 부품
생산 현장에서는 각 제품군에 필요한 열 조건이 미리 정해져 있습니다. 만약 램프의 출력이 변동하거나 베이킹 온도가 일정하지 않으면, 제품의 치수 제어가 제대로 이루어지지 않아 생산이 중단됩니다. ASML 리소그래피 램프의 예비 부품들은 소프트 베이킹과 하드 베이킹 과...
반도체 기계 예비 부품 히터
리소그래피 작업장에서는 소프트 베이크 온도가 심지어 몇 도만 벗어나도 웨이퍼 상의 중요한 치수가 흔들릴 수 있다. 히터는 단순히 열을 가하는 것이 아니라, 열 예산을 관리하는 역할을 한다. 예비 부품이 고장 나면, 불량이 맵에 나타나기도 전에 수율이 떨어지기 시작한다...