Cara yang lebih efisien untuk mengeringkan wafer MEMS (tanpa membuang tenaga)
Sejujurnya, cara tradisional untuk mengeringkan wafer MEMS memang memakan masa yang lama. Sama ada menggunakan ketuhar konveksi atau kaedah pengeringan berputar, kita tetap perlu menunggu sementara tenaga yang banyak dibazirkan begitu saja. Cara ini lambat, boros tenaga, dan sudah ketinggalan zaman.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik. Daripada memanaskan seluruh bilik hanya untuk mengeringkan wafer, kami menggunakan haba inframerah berfrekuensi rendah. Ini merupakan pendekatan yang berbeza. Daripada memanaskan udara, kami fokus pada molekul air itu sendiri. Dengan cara ini, kelembapan dapat dihilangkan dengan cepat.
Fisikanya sebenarnya sangat menarik.
Dalam proses pembuatan MEMS, kita perlu memastikan suhu yang tepat agar proses pengeringan berjalan lancar. Namun, suhu yang terlalu tinggi boleh merosakkan wafer tersebut. Lampu IR yang digunakan bertindak pada frekuensi tertentu yang mampu menghilangkan lapisan air yang tersisa setelah proses etching.
Oleh kerana tenaga tidak dibazirkan untuk memanaskan udara di dalam bilik, penggunaan tenaga pun berkurangan secara signifikan. Ini tentunya bermanfaat untuk mempercepat proses pengeringan dan mengurangkan jejak karbon yang dihasilkan.
Sekarang, mari kita bincangkan tentang peralatan yang diperlukan.
Peralatan ini dibina menggunakan filamen halogen dan tiub kuarsa berkualiti tinggi. Hasilnya, haba yang dihasilkan dapat sampai ke wafer dengan cepat.
Namun, ada satu perkara yang perlu diperhatikan: peralatan ini tidak boleh disambungkan ke mana-mana litar biasa. Ketumpatan tenaganya sangat tinggi. Jika anda cuba meningkatkan kuasa yang digunakan, ia akan menyebabkan masalah seperti gegaran termal atau “titik panas” yang boleh merosakkan struktur MEMS.
Untuk memastikan keselamatan, perlu ada kawalan yang ketat. Kami biasanya menggunakan pengawal PID bersama-sama dengan alat pengukur suhu yang responsif. Ini akan memastikan suhu tetap stabil dan mengelakkan masalah yang tidak diingini.
Bagaimana untuk menggunakannya dengan efektif?
Yang terbaik ialah peralatan ini boleh diganti secara langsung. Kami menggunakan sambungan standard, jadi anda tidak perlu menghabiskan masa untuk menyambung semula kabel-kabel tersebut.
Namun, perlu diingat bahawa bilik bersih mempunyai kesan buruk terhadap peralatan ini. Uap kimia boleh merosakkan tiub kuarsa. Kami menggunakan kaca yang tahan lama, namun anda masih perlu memastikan tiub tersebut tidak kotor. Jika tiub tersebut kotor, proses pemindahan haba akan terganggu, dan kecekapan tenaga akan menurun. Pastikan peralatan tersebut sentiasa bersih agar matlamat “kilang hijau” dapat dicapai.