クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つには
もしクラス100の環境で作業を行っているなら、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や安価な加熱要素から出るガスだけで、製造された半導体や医療機器が全て廃棄処分になってしまいます。これは本当に厄介で、コストもかかります。しかし、実際には避けることが可能です。
そのため、私たちは従来のホウケイ酸ガラスの代わりに、高純度の合成石英を赤外線ランプに使用しています。
秘密は素材にあります。
石英は温度変化によって壊れることがありません。熱膨張率がほぼゼロなので、温度が変動しても管が割れたり、微細なシリカ粒子が飛び出したりすることはありません。また、製造過程で有機系の結合剤や融点の低い不純物も除去されています。
その結果、ランプが最大出力に達しても、何も漏れ出しません。煙も、粒子も、破損したウェーハもありません。
しかし、ハードウェアだけでは不十分です。正しく制御する必要があります。
私たちは、PID制御を利用したデジタル式の赤外線コントローラーをこれらのランプに組み合わせています。これにより、温度が過度に上昇するのを防げます。石英が過度に熱くなると、非晶質になってしまい、つまりガラスが結晶化して脆くなり、最終的には割れてしまいます。
必要なワット数や長さに合わせて、自由に設計することができます。ただし、高速に温度を上げるために高出力のランプを使う場合は、真空や空気流がその余熱を効果的に排出できるようにしてください。そうでないと、電極がダメになり、ランプの寿命が短くなってしまいます。
設置自体は簡単です。
これらは、既存のオーブンの代替品として設計されています。密封性が高いので、フィラメントの酸化物が作業エリアに漏れる心配もありません。また、ミリ秒単位で迅速に反応するコントローラーと組み合わせることができます。
最後に、重要な点があります。
技術者が素手でランプに触れないようにしてください。
高純度の石英は皮脂を嫌います。手袋を着用せずにランプに触れると、皮脂がガラスに浸透してしまいます。それにより熱源ができ、石英が過度にストレスを受け、本来よりも早く壊れてしまいます。
常に清潔に保ち、必ず手袋を着用すれば、生産効率を維持できます。