ドーパント活性化赤外線ヒーター

ライン上では、ウェーハがドーパントプロファイルを固定するための加熱を待っている。冷却スポットや温度の変動が一つでもあれば、活性化が不十分となる。接合部がずれる。ウェーハがエッチングやリソグラフィーに入る前に歩留まりが低下する。大量生産ファブでは、その一回の熱変動がシフト全体を台無しにする可能性があ...