ウェーハ硬化用の反射器における電気的安全性について話しましょう。
ウェーハ硬化用のランプは、非常に高い温度にさらされます。このような装置用の反射器を作るとき、私たちは単に光がどこに行くかだけを考えるわけではありません。電気的な絶縁性も同様に重要です。
実際、絶縁が失われるとアークが発生します。これは単なる故障ではなく、装置を破壊したり、一度に大量のウェーハを台無しにしてしまう恐れがあります。
なぜ全てのランプをテストするのか？
私たちは、出荷前にすべてのランプに高電圧耐力試験や絶縁抵抗のチェックを行います。サンプリングは一切行わず、100％のランプを検査します。
石英に微細な亀裂があったり、コーティングに不純物があって電流が漏れ出す可能性がある場合もあります。もしランプに問題があれば、それは廃棄されます。絶縁不良は修復不可能なので、やはり新しいものから始めざるを得ません。
ストレスへの対処
ウェーハを硬化させるには莫大な電力が必要です。そのため、接続点や筐体には大きな圧力がかかります。私たちは、絶縁抵抗が最低値を大幅に上回っていることを確認し、電流が機械のシャーシに流れ込むのを防ぎます。
ただし、出荷時点でランプが安全であると保証しても、お客様側の配線や接地も適切でなければなりません。もし機械の接地が不十分だと、完璧なランプでもシステムを停止させてしまうことがあります。
「最悪の事態」を避ける
厳格な検査を行ったランプを使用すれば、夜中に突然停電するような事態を防ぐことができます。
ランプが壊れるのは通常のメンテナンス作業です。交換すれば済みます。しかし、ランプが筐体に短絡すると、それは重大な安全上のリスクです。そうなると、生産ライン全体が停止してしまいます。
各ランプの誘電強度をチェックすることで、そのような故障を未然に防ぎます。そうすれば、信頼性の高いランプを使用でき、フューズが飛んだり、心配することなく、安定した運転が可能になります。