半導体用ハロゲン加熱要素：高密度ウェハ処理に最適化された400V対応の製品 半導体製造の最前線について話しましょう。ここでは、一秒一秒が重要であり、常に理想的な温度管理が求められます。 このハロゲン加熱要素は、そうした厳しい状況に対応するために開発されました。私たちは、高度なウェハ製造の現場での厳...

7x24時間稼働するファブでは、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。これは、正常に機能するパターンと廃棄されるウェハとを分ける重要なポイントです。 オーブン内のランプの位置がずれると、均一な加熱が得られず、重要な寸法制御も失われます。手動で調整しても、歩留まりを改善することはで...

300mmラインでは、ベーク温度の0.5°CのドリフトがCD制御を崩壊させ、スクラップ率を上昇させる。Class 1–100のクリーンルーム環境では、ヒーターからの粒子が1個でもダイを破壊する原因となる。これら2つの故障モードを排除するために、当社はクリーンルーム対応の赤外線ヒーターを開発した。...