もう、空気が温まるのを待つのはやめましょう。なぜ私たちが金コーティングされたIRランプに切り替えたのか。
もしホットエアサーキュレーションシステムを使ったことがあるなら、その不便さはわかるでしょう。まず空気を加熱し、その空気が部品に熱を伝えてくれることを期待するのです。しかし半導体の精密加工では、この「空気」という仲介者が問題となります。空気が原因で時間が無駄になり、作業が遅くなってしまいます。
私たちはその仲介者を排除することにしました。空気を加熱する代わりに、二重管構造の金コーティングランプを使用します。これにより、放射エネルギーが直接基板に当たります。待つ必要もなく、時間の無駄もありません。
秘密は金にあります
一般的な石英管も悪くないですが、エネルギーが漏れてしまいます。それを解決するために、外側の管の内側に金コーティングを施しました。これはまるで高級な鏡のようなもので、赤外線を直接前方に反射させ、ワークピースに当てます。
また、「二重管構造」により、狭い空間にフィラメントを2つ配置することで、より高い熱密度を実現できます。より多くのパワーを得るためにランプの長さを延ばす必要はありません。単純に、より効率的に設計するだけです。
午後の時間を無駄にしない
ホットエアシステムは遅いです。温度を変更すると、チャンバー全体が温度に追いつくまで待たなければなりません。これは非常にイライラします。
一方、IRランプは即座に動作します。スイッチを入れるだけで、光子がターゲットに当たり、すぐに作業を開始できます。ウェーハや精密部品を扱う私たちにとって、これにより処理時間が30％から60％も短縮されます。もう、長い時間を無駄にして待つ必要はありません。
注意点（必ずあります）
これは、どんな機械にでも簡単に取り付けられる魔法の杖ではありません。
まず、高密度のIRランプは電源に大きな負担をかけます。コントローラーが急激な電流の増加に対応できるか確認する必要があります。また、金コーティングにより熱が集中しやすいため、PID調整が不十分だと目標値を超えてしまう可能性があります。また、ランプと部品の距離も慎重に調整する必要があります。間違えると、熱の集中点ができてしまいます。
私のアドバイスは、これらのランプをゾーン制御システムに接続することです。そうすれば、熱の分布をより正確にコントロールでき、これこそが精密加工に必要なことです。