実際に重要な場所により多くの熱を与える：金メッキされたIRエミッター 半導体ウェハを扱っている人なら、エネルギーの無駄遣いが単なるコストの問題ではなく、大きな悩みであることを知っています。IRエミッターを使うと、発生した熱の大部分が後方に逃げてしまい、目的の場所には届かず、工程に何の役にも立ちませ...

300mmラインにおいては、線幅の制御はソフトベイクやハードベイクの段階で決まります。ホットプレート領域の温度が2℃だけ変動しても、製品の歩留まりはすぐに悪化してしまいます。必要なのは、スキャナーの再現性に合わせた熱源であり、単なるヒーターでは不十分です。 技術的に重要な点 私たちは近赤外線...