より効率的なMEMSウェーハの乾燥方法（エネルギーの無駄遣いを防ぐ） 正直に言って、従来のMEMSウェーハの乾燥方法は非効率的です。対流式オーブンを使おうと回転式乾燥機を使おうと、結局は大量のエネルギーが無駄に消費されてしまいます。時間がかかり、エネルギーも無駄になり、時代遅れの方法です。 私たち...

工具の内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 一般的な加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。ウェーハ加工用の装置では、これは大きな問題です。 考えてみてください：その熱の大部分はウェーハには届いていないのです。単に装置の内壁に吸収されてしまうのです。その結果、装置の内...

IRを活用して水素センサーの硬化処理を適切に行う方法 水素センサーを製造する際、問題となるのが加熱です。極めて敏感な膜を使用しているため、接着剤や導電ペーストの硬化処理を間違えると、結局は高価な廃品しかできません。 そのため、私たちは短波長の赤外線ヒーターを利用します。部屋中の空気を温める代わりに...

もう、機器をオーブンのように使うのはやめましょう。半導体製品の表面に触れて、その高温さに驚いて飛び退いたことはありませんか？こんなことはよく起こります。本来なら機器の内部を加熱したいのに、熱が本来行くべき場所ではなく、外側の壁面に吸収されてしまいます。これは非常に厄介で、実際、作業を行う人にとって...

リソグラフィーフロアにおいて、ソフトベイクとハードベイクの段階でフォトレジストのパターンが決定されます。2°Cの温度変動だけで、Ttopの値は20nmも変わってしまいます。このような変動が、ワーク全体にわたって線幅のばらつきとして現れます。したがって、測定可能で、再現性があり、追跡可能な温度制御が...