工場の乾燥工程におけるエネルギー診断

なぜ無駄な努力を続けるのか？半導体乾燥にIR加熱を採用しよう。 ほとんどのファブの乾燥ラインでは、依然として昔ながらの方法が使われている。つまり、ウェハーの上に熱風を送り込んで、その水分が自然に蒸発するのを待つだけだ。これは非常に効率の悪い方法だ。時間も手間もかかり、実際にウェハーが温まる前に、エ...