클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 환경에서 작업을 하고 있다면, 미세한 입자들이 발생하는 문제가 얼마나 골칫거리인지 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 조각이라도, 혹은 저품질의 가열 요소에서 나오는 가스라도 있으면, 생산된 반도체나 의료 기기들은 모두 폐기물이 됩니다. 정말 짜증나는 일이죠. 게다가 비용도 많이 듭니다. 하지만 이러한 문제는 대개 피할 수 있습니다.
그래서 우리는 일반적인 붕규산 유리 대신 고순도 합성 석영을 사용하기 시작했습니다.
비결은 바로 재료에 있습니다.
석영은 온도 변화에도 전혀 영향을 받지 않습니다. 열팽창률이 거의 0에 가까워서, 열을 주고받을 때도 관이 깨지거나 미세한 석영 입자들이 나오지 않습니다. 또한 제조 과정에서 유기성 결합제나 낮은 융점을 가진 불순물들도 제거됩니다.
그 결과는 어떨까요? 램프가 최고 온도에 도달해도 아무것도 새어 나오지 않습니다. 연기도, 입자도, 손상된 웨이퍼도 없습니다.
하지만 하드웨어만으로는 충분하지 않습니다. 반드시 제어가 필요합니다.
우리는 이 램프들과 PID 제어 장치를 함께 사용하여 온도를 안정적으로 유지합니다. 이렇게 하면 열이 과도하게 상승하는 것을 막을 수 있습니다. 석영이 너무 뜨거워지면 결정화되어 부서질 수 있습니다.
원하는 와트수나 길이에 맞게 램프를 만들 수 있습니다. 단, 빠른 가열을 위해 고와트 수의 램프를 사용한다면, 진공 상태나 공기 흐름이 그 열을 효과적으로 배출할 수 있는지 확인해야 합니다. 전극이 과열되면 램프의 수명이 크게 줄어듭니다.
설치는 간단합니다.
이 램프들은 기존 오븐을 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 밀폐된 구조라서 필라멘트가 산화되어 작업 공간으로 침투하는 것을 걱정할 필요가 없습니다. 또한 제어 장치와 즉시 연동되어 몇 밀리초 내에 반응할 수 있습니다.
마지막으로 중요한 점입니다.
꼭 장갑을 끼고 작업해야 합니다.
고순도 석영은 피부의 기름을 싫어합니다. 장갑을 끼지 않고 램프를 만지면, 그 기름이 석영에 스며들어 과열을 유발합니다. 그러면 석영이 손상되어 램프의 수명이 단축됩니다.
깨끗하게 유지하고, 반드시 장갑을 끼고 작업하면, 생산 효율도 그대로 유지됩니다.