
保持100级洁净室的清洁状态其实并不难。如果你正在使用100级洁净室,那你肯定知道颗粒物带来的麻烦。哪怕只是有一小片灰尘或来自廉价加热元件的气体泄漏出来,那么所有半导体或医疗设备都会被毁掉。这既令人沮丧,又会造成巨大的经济损失。不过,这种情况其实是可以避免的。
因此,我们不再使用普通的硼硅玻璃,而是改用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。**关键就在于材料本身。**石英在温度变化时不会出现异常现象,它的热膨胀率几乎为零,所以即使在高温环境下,灯管也不会破裂或释放出微小的二氧化硅颗粒。此外,在制造过程中,我们还去除了所有的有机粘合剂和低熔点杂质。
这样一来,当灯管达到工作温度时,就不会有任何物质泄漏出来——没有废气,没有颗粒物,也不会有损坏的晶圆。不过,硬件只是解决问题的一半,还需要对整个系统进行有效的控制。我们会为这些灯管配备数字式红外控制器,利用PID控制技术来确保温度稳定。这样就能防止温度过高。如果石英过热,它就会发生结晶现象,从而变得脆弱,最终导致灯管提前损坏。
我们可以根据实际需求来定制不同功率和长度的灯管。不过需要提醒的是:如果为了更快达到工作温度而选择高功率灯管,那么必须确保真空系统或空气流动能够将产生的热量及时散发出去。否则,电极就会过热,从而缩短灯管的使用寿命。
**安装这些灯管其实很简单。**它们可以直接替代现有的烤箱。其密封性能非常好,因此不必担心灯丝氧化后的物质会进入工作区域。它们还能与控制器快速连接,实现毫秒级的响应速度。
最后一点很重要:**绝对不要让操作人员直接用手接触灯管。**高纯度石英非常讨厌皮肤上的油脂。如果有人不戴手套就触摸灯管,那些油脂会渗入玻璃中,形成热点,导致石英受压,从而使灯管过早损坏。只要保持灯管的清洁,并要求操作人员佩戴手套,就能确保产品的质量。