近红外光发射灯泡

在300毫米光刻线路上，线条宽度的控制取决于“软烘烤”和“硬烘烤”这两个工序的质量。如果加热区域的温度偏差达到2摄氏度，那么产品的良率就会立刻下降。因此，需要一个能够与扫描仪的精度相匹配的热源——而不仅仅是一个简单的加热器而已。 从技术层面来看，关键点在于： 我们使用近红外光源，其热量分布均匀性可...