在300毫米光刻线路上，线条宽度的控制取决于“软烘烤”和“硬烘烤”这两个工序的质量。如果加热区域的温度偏差达到2摄氏度，那么产品的良率就会立刻下降。因此，需要一个能够与扫描仪的精度相匹配的热源——而不仅仅是一个简单的加热器而已。
从技术层面来看，关键点在于： 我们使用近红外光源，其热量分布均匀性可达到±0.1摄氏度，从而确保晶圆各处的温度一致。这种光源通过辐射方式传递热量，无需直接接触晶圆。其光谱设计使得感光剂能够有效吸收热量，同时不会影响基底的温度。这样一来，就能有效控制温度。
该光源被放置在1-100级洁净室中，其石英外壳可以防止灰尘进入。我们会实时检测是否有颗粒产生，而且该光源的使用寿命可达5,000小时以上，其输出功率的衰减率低于5%。因此，它能够全天候稳定工作。
为什么它能在关键时刻发挥作用？ 在光刻过程中，近红外光源可以替代传统的卤素灯或中波光源。这样一来，烘烤时间就会缩短，而且在软烘烤和硬烘烤过程中，温度稳定性都能得到保障。由于是直接对感光剂进行加热，因此其精度也会更高。
此外，近红外光源的能耗较低，而且不需要频繁更换灯泡，从而减少了意外停机的时间。它的性能已经经过国际标准验证，无需重新调整整个系统。
需要注意的事项： 该光源需要配套的驱动器以及闭环控制系统。如果使用开环控制，那么温度就很难保持稳定。此外，该光源需要适当的预热时间才能达到稳定的光谱特性。另外，安装时还必须确保其与晶圆表面的距离符合规定要求。
至于石英外壳，則需要以防静电的方式进行处理。只要保持其位置准确，那么烘烤过程中的温度就能保持稳定，废品率也会降低，维护周期也会更加可控。