300mmラインでは、ベーク温度の0.5°CのドリフトがCD制御を崩壊させ、スクラップ率を上昇させる。Class 1–100のクリーンルーム環境では、ヒーターからの粒子が1個でもダイを破壊する原因となる。これら2つの故障モードを排除するために、当社はクリーンルーム対応の赤外線ヒーターを開発した。
技術的に重要な点
高速で直接的なエネルギー伝達のために短波赤外線エミッターを使用し、ベークゾーン全体でウェーハレベルの均一性を±0.1°C以内に保持する。温度の立ち上げおよび保持はラン間で再現性があり、ソフトベークとハードベークのプロファイルが安定して維持される。ヒーター本体はクリーンルーム対応で、表面は平滑かつ低アウトガス材料を使用し、運転中の粒子発生はゼロである。制御精度は高度なプロセスノードにおける熱バジェットの維持が可能なほど厳密で、そのマージンが極めて薄い場合でも対応できる。
トラックに適合する理由
リソグラフィトラックでは、高速で立ち上がり安定保持し、不純物を残さない加熱が求められる。当社の赤外線ヒーターは設定温度へ迅速に到達し、プロファイル制御を損なうことなくサイクルタイムを短縮する。7×24時間の連続稼働が可能で、計画外のダウンタイムはゼロ。エミッターの寿命も長く、頻繁な交換を要さないため、ラインの安定稼働とメンテナンスの予測可能性を確保する。この結果として、安定したクリティカルディメンション、スクラップ減少、そして一貫した歩留まりが得られる。
計画に必要な事項
ヒーターは標準的なトラックシステムとインターフェース可能であるが、熱プロファイルはチャンバーの形状やエアフローに敏感に影響される。立ち上げ時にはホットゾーンのマッピングおよびベークチャンバー固有のエミッター配置チューニングが必要である。短時間の統合調整時間を確保し、運転温度にて粒子数を検証した上でプロセスを開始すること。