クリーンルーム用オーブン赤外線ヒーター

300mmラインでは、ベーク温度の0.5°CのドリフトがCD制御を崩壊させ、スクラップ率を上昇させる。Class 1–100のクリーンルーム環境では、ヒーターからの粒子が1個でもダイを破壊する原因となる。これら2つの故障モードを排除するために、当社はクリーンルーム対応の赤外線ヒーターを開発した。...