
将热量精准地传递到需要的地方:镀金红外发射器
如果你从事半导体晶圆加工工作,那么你一定知道,能源的浪费不仅仅是成本问题,还会带来诸多麻烦。当红外发射器工作时,大部分热量都会向后方散失,无法被用于加热晶圆,从而白白浪费了能量。
我们通过使用镀金反射器和高品质陶瓷端盖来解决这个问题。这样,能量就能被引导到正确的方向——也就是朝向晶圆的那个方向。
为什么选择黄金?
普通石英管会向各个方向散热,即360度全方位散发热量。这样一来,大量能量就会浪费在机器的机壳上。而通过在发射器背面添加镀金层,就可以改变这一状况。黄金具有出色的反射红外线的能力,因此能量不会散失到空气中,而是直接反射回晶圆上。这样一来,每瓦特的电能就能产生更多的热量。同时,电控系统的负担也会减轻,冷却系统也不必再费力地防止机器过热。
关键在于端盖
实际上,这些发射器的性能往往取决于端盖的质量。发光的灯丝与电气端子之间的温度差异非常大。我们使用高纯度陶瓷作为端盖材料,因为它能够承受这种高温。此外,它还能防止电极氧化,避免石英管因高温而破裂。
一个小贴士:请确保电线连接紧密。如果陶瓷接口处的连接不牢固,就容易出现局部过热的情况。那样一来,不仅会导致固定装置变形,还可能烧毁端盖。
存在的弊端(因为没有完美之物)
虽然镀金能提高晶圆上的热量密度,从而加快处理速度,但这也会增加出错的概率。如果PID控制器的设定不够精确,就有可能超出目标温度。另外,还需要保持镀金表面的清洁。哪怕有少量灰尘或杂质,也会降低其反射率,导致晶圆上的加热不均匀,这无疑会给校准工作带来很大麻烦。只要保持表面清洁且连接紧密,一切就能正常运转。