クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つためには、高機能な空気フィルターだけでは不十分です。重要なのは、些細なことです。安価な部品から発生するわずかなガスでも、半導体ウェーハを台無しにしてしまいます。
だからこそ、私たちは高純度の石英を使って赤外線ランプを製造しているのです。粒子が発生する前にそれを防ぐことにこだわっています。
石英の問題点 通常の石英には不純物が含まれています。高温になると、その不純物が剥がれ落ちたり、ガスが放出されたりします。これは好ましくありません。
私たちは、このようなリスクを避けるために、合成された高純度の石英を使用しています。タングステンフィラメントが短波長の赤外線を発生させ、超純度の石英がその熱を基板に効率よく伝えます。金属の移動や予期せぬ問題もありません。
必要な場所に熱を集中させる これらのランプは、小さなサイズで大きな熱量を発生させます。つまり、チャンバ全体を温めることなく、必要な場所にだけ熱を集中させることができます。
ご自身の電力供給システムに合ったワット数や電圧を選ぶことができますが、注意点として、高出力のランプは非常に高温になります。冷却装置が十分に機能するか確認してください。ソケットが溶けたり、ハウジングが変形したりするのは避けたいですね。
設置方法 私たちは、すべての有機系接着剤や安価なコーティングを排除しました。なぜかというと、それらは拭き取り試験に耐えられないからです。また、数千年にわたる繰り返しの加熱にも耐えられるようにシール部分も設計しています。
PID制御を使用している場合、これらのランプを直接接続すれば、正確な温度管理が可能です。
交換も簡単で、複雑な締め付け具を使わずに済みます。金属の破片が散乱するような複雑な部品は避け、精密な装着方式を採用しています。
最後に、真空環境で使用する場合は、シール部分がその特定の圧力レベルに耐えられるか必ず確認してください。これが、トラブルを避ける最も簡単な方法です。