熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングが重要なのか
半導体の製造工程において、電力の無駄遣いは単に非効率的なだけでなく、大きな問題となります。高出力の加熱要素を使う場合、その赤外線エネルギーの多くは本来の目的の場所に行かず、代わりにチャンバーの壁に反射したり、筐体の外に漏れ出したりします。まるで窓を開けた状態で部屋を暖めようとしているようなものです。
そこで、私たちは金コーティングされた反射板を使用します。金は長波長の赤外線を元の方向に反射させるのに非常に優れています。これにより、熱がウェハ表面に届き、機械の枠が温められるだけで済まないのです。
科学的な理由（簡単に説明すると）
アルミニウム製の反射板も一般的ですが、温度が上がると効果が低下します。一方、金は安定しており、広いスペクトルの光を反射し続けます。反射板に薄い金の層を加えることで、逃げていく光子を再び戻して、熱を効率的に利用できるのです。最も良い点は、電圧を上げることなく、ウェハにより多くの熱を与えられることです。
ケーブルのことも忘れずに
注意点があります。ある一点にこれほど多くの熱が集中すると、電気ケーブルが損傷します。溶けてしまわないように、テフロン絶縁のケーブルを使用します。テフロンは、金コーティングされた反射板の周囲の高温に耐えられ、ひび割れやガスの発生もありません。正直に言って、もしケーブルが壊れてしまったら、そのヒーターはただの高価な置物に過ぎません。
注意すべき点
金も万能ではありません。いくつかの欠点があります。まず、金は柔らかいのです。取り付け時や強力な洗浄剤を使うと、傷がついてしまいます。したがって、このような反射板は丁寧に扱う必要があります。また、金によってエネルギーの伝達効率は向上しますが、ランプが消費する電力自体は変わりません。冷却システムが不十分だと、集中した熱によって筐体が過度に熱くなってしまいます。ですから、取り組む前に、冷却ファンが十分に機能しているかを確認してください。