와이어를 안전하게 보호하기 위해: 유전체의 무결성에 대한 진실
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 조금의 실수도 용납될 수 없습니다. 아주 작은 전기 아크나 절연체가 손상된 부분만으로도 문제가 생깁니다. 이는 가열 요소를 파괴하고 웨이퍼를 망가뜨릴 뿐만 아니라, 운이 나쁘면 컨트롤러 보드까지 손상시킬 수 있습니다. 그래서 우리는 유전체의 강도를 매우 중요하게 여깁니다.
모든 램프를 반드시 테스트합니다. 예외는 없습니다.
일부 업체들은 몇 개의 램프만 테스트한 다음 나머지는 괜찮다고 가정합니다. 하지만 우리는 그렇게 하지 않습니다. 모든 램프는 출하되기 전에 반드시 고전압 스트레스 테스트를 거칩니다.
우리는 인간의 눈으로는 결코 발견할 수 없는 석영과 코팅层의 구멍이나 미세한 균열을 찾아냅니다. 만약 램프에서 약간이라도 전류가 새어나오면, 그 램프는 폐기됩니다.
이것이 중요한 이유는, 웨이퍼를 가열할 때 엄청난 열차이가 발생하기 때문입니다. 이러한 열은 밀폐 장치와 연결부에 큰 압력을 가합니다. 만약 절연체가 약하다면, 가열될 때 재료가 팽창하여 전기가 새어나올 수 있습니다. 우리는 그런 일이 일어나지 않도록 합니다.
공간 활용의 문제
웨이퍼 처리 과정에서는 램프들을 아주 좁은 공간에 넣어야 합니다. 고전압 램프들을 너무 가까이 배치하면 ‘표면追踪’이라는 문제가 생깁니다. 즉, 전류가 절연체 표면을 따라 우회로를 찾으려 합니다.
우리는 이를 방지하기 위해 특수한 유전체 코팅을 사용합니다.
참고로, 더 높은 전압을 사용하면 전력 손실 없이 더 긴 램프를 사용할 수 있지만, 절연체에 큰 부담이 가해집니다. 이럴 경우, 장착 브래킷이 제대로 접지되어 있는지 반드시 확인해야 합니다. 이건 당연한 안전 수칙입니다.
안전성과 열 관리의 균형
여기서는 안전성과 정확성 사이의 균형을 맞춰야 합니다. 절연체를 두껍게 하면 램프는 매우 안전해지지만, 열이 웨이퍼에 도달하는 방식에 약간의 변화가 생길 수 있습니다.
“안전함”과 “정확성” 중에서 하나를 선택할 필요는 없습니다. 우리는 이 두 가지 요소를 조절하여, 필요한 전기적 보호 기능을 제공하면서도 웨이퍼의 열 균일성을 해치지 않도록 노력합니다. 그게 바로 최선의 방법입니다.