半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェーハを温かく保つために：トロリー用の赤外線加熱の真実 半導体製造工場で働いたことがある人なら、ウェーハの輸送がいかに大変かを知っているでしょう。移動中も温度を一定に保つのは非常に難しいです。少しでもミスがあれば、熱ショックや汚染が発生し、結果として歩留まりが急激に下がってしまいます。 長年にわ...