無駄な熱の浪費をやめよう：なぜ金メッキされた反射器が重要なのか
ウェーハ処理においてIRランプを使用している場合、高品質な反射器を使わないと、実質的に出力の半分が無駄になってしまいます。これは単純な問題です。ランプはどちらの方向にもエネルギーを放出します。その余分な熱をウェーハの方に戻す手段がなければ、作業場内の空気だけが温められてしまいます。 そこで役立つのが、金メッキされたアルミニウムです。
なぜ金なのか？（なぜ単なる研磨済みのアルミニウムではダメなのか？）
研磨済みのアルミニウムも悪くはありません。ある程度は機能します。しかし、長波長の赤外線領域になると、アルミニウムは効果を発揮できなくなります。一方、金は全く異なり、赤外線エネルギーをはるかに効率的に反射します。 もちろん、全体を金で作るわけにはいきません。それは非現実的です。代わりに、精密に加工されたアルミニウムのベースに金メッキを施します。そうすることで、アルミニウムの軽量さと金の優れた性能の両方を得ることができます。結果として、反射器自体が熱を吸収することはなく、エネルギーを正しい方向に反射させるのです。
熱を必要な場所に送る
重要なのは材料だけでなく、形状も同じくらい重要です。 曲率を調整することで、例えば放物線状や楕円形にして、IR放射をウェーハ上の特定の場所に集中させることができます。これにより、ランプの出力を上げずに、目標温度に素早く到達できます。 ただし、注意が必要です。過度に集中させてはいけません。 ビームを過度に集中させると、熱点ができてしまいます。PIDコントローラーがその余分なフラックスに対応できなければ、ウェーハの端部分が壊れてしまう可能性があります。バランスを取る必要があります。
実際の使用と清掃の「黄金律」
これらは、そのまま交換可能なように設計されています。厳密な寸法精度で加工されているため、システムが高速で動作していても、反射器が動いたりしないのです。 ただし、金は少し気難しい素材です。 汚染を嫌います。油や化学物質の蒸気が表面に付着すると、反射率が下がり、再びエネルギーが無駄になります。そして、絶対に研磨剤入りのクリーナーは使わないでください。そうするとコーティングが剥がれてしまいます。柔らかい、溶剤系の拭き布を使って、優しく拭いてください。そうしないと、思ったより早く新しい反射器を購入しなければならなくなります。